仪器仪表工业论文_五棱镜扫描法检测大口径平行

文章目录

0 引 言

1 五棱镜扫描法检测原理分析

1.1 检测原理

1.2 五棱镜姿态对出射光束的影响

2 五棱镜扫描系统结构

2.1 五棱镜扫描系统整体结构

2.2 五棱镜扫描系统设备选用

3 误差分析

3.1 质心位置精度

3.2 五棱镜加工误差

3.3 倾斜误差

3.4 滑台角度误差

    3.4.1 滑台角度误差测量原理

    3.4.2 滑轨滚转角测量

3.5 误差汇总

4 五棱镜扫描法验证

5 结 论

文章摘要:基于传统的五棱镜扫描法和图像处理法设计了一台通用检测装置,该装置可以快速准确地检测口径1m以下的平行光管出射光平行性。详细分析了五棱镜姿态对装置测角精度的影响,实测了实验室Φ1m焦距30m的平行光管光束平行性,并根据测量结果进行了焦面调节,最终平行光管离焦量控制在4mm以内,装置测角精度优于1″。

文章关键词:

论文DOI:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.05.013

论文分类号:TH74

文章来源：《光学技术》 网址: http://www.gxjszz.cn/qikandaodu/2021/0929/838.html